Tạp chí Khoa học & Công nghệ, 2018

Cỡ chữ:  Nhỏ  Vừa  Lớn

Ảnh hưởng của áp suất làm việc tới cấu trúc và thành phần của màng cứng nitơrit nhôm titan tạo bằng kỹ thuật đồng phún xạ

Bùi Tiến Sơn, Nguyễn Quang Định, Uchiyama Kyoshi, Phạm Văn Hưng, Phạm Đức Cường

Tóm tắt


Lớp phủ gốc titan nitơrit đang được sử dụng rộng rãi để bảo vệ bề mặt trong các lĩnh vực ứng dụng khác nhau bởi những ưu điểm như độ cứng cao, ma sát và mài mòn thấp. Việc bổ sung nhôm vào lớp phủ TiN giúp nâng cao hơn nữa độ cứng và khả năng chống oxi hóa. Thông thường, lớp phủ TiAlN được tổng hợp bằng cách sử dụng các bia hợp kim có tỷ lệ phần trăm titan và nhôm cố định. Tuy nhiên, để kiểm soát tỷ lệ Ti/Al trong thành phần lớp phủ, kỹ thuật đồng phún xạ được sử dụng. Kỹ thuật này sử dụng bia Ti và bia Al được gắn riêng trên hai súng của hệ thống phún xạ trong quá trình lắng đọng. Trong nội dung nghiên cứu này, lớp phủ mỏng TiAlN được chế tạo trên các tấm nền Si bằng cách sử dụng kỹ thuật đồng phún xạ từ trường với các điều kiện áp suất khác nhau. Thành phần hóa học của lớp phủ được nghiên cứu bằng EDS, hình thái học của lớp phủ được phân tích bởi FESEM. Kết quả thí nghiệm cho thấy lớp phủ TiAlN được tạo thành trên lớp nền Si và áp suất lắng đọng ảnh hưởng đến thành phần, hình thái cũng như tỷ lệ Ti/Al của lớp phủ.

Toàn văn: PDF

Tạp chí Khoa học & Công nghệ / Journal of Science and Technology. ISSN 1859-3585. 

Giấy phép xuất bản: 1608/GP-BTTTT ngày 13/11/2009